DUV刻機技術難點還。

像鏡頭制造方面，求極學精度，鏡頭設計制造過程絕允許任何微誤差。

此就源系統也個難點。

DUV刻機采用準分子激作為源，這個源系統還比較容易搞定。但系統設置求分精細，設置很複雜折射，來達到讓線純化目，為提分辨率，後來還采用浸法，即投射透鏡晶圓之間填入離子，這就對系統穩定性精度非常求。

為造格DUV刻機，張紅衛次元訓練空間實驗裡量實驗，最終這才搞定源系統系統。

過，現，還個難題需解決，就：現實造精密度DUV刻機，還需優質先進制程處理器芯片傳器。

這就着，張紅衛造納米級單片機處理器，還編寫個單片機操作系統。

這同樣也個難題。

斷學習實踐，張紅衛現編程技術自然沒太問題。

如今，最難就造先進制程納米級芯片。

過，張紅衛還次把次元空間訓練場裡實驗成果帶回現實世界機會。

決定充分利用這次機會。

張紅衛就次元訓練空間實驗裡先自己操作産來些單片機傳器。

這些單片機傳器以産兩台DUV刻機。

将們翼翼裝進個盒子裡，然後随攜帶，回到現實。

成功。

這些先進制程單片機傳器被帶到現實來。

張紅衛簡直欣若狂。

芯片問題解決，接來，就源系統。

這兩個任務被交給謝延波等。

現成研究方向，張紅衛指導，源問題很就得到解決。

緊接着就系統。

因為設計就幹式DUV，系統就用考慮放置離子，難度也減。

因為張紅衛次元訓練空間實驗裡已經自己實踐過，所以，略點撥，謝延波帶着幾個就把系統也給搞定。

這讓謝延波很開。

主攻理論物理。

理論物理這玩，學習起來挺難，但，鑽研枯燥理論，妄圖發現物理定理啥，現這個時代也越來越難。

謝延波覺得，還搞應用物理比較好玩些，而且，很成就。

比如，用學物理原理搞定源，這個成果搞定之後，刻機個核部件就成功。

謝延波被張紅衛頓猛誇，謝延波裡自然也美滋滋。

謝延波加入張紅衛團隊之後，開始還點兒擔，擔自己幫麼忙，起到麼作用。

過，張紅衛系統指導培訓，進步堪稱神速。

而且，謝延波也到自己用武之：其實研究刻機，也需用到量物理應用識。

這讓才歲謝彥波成就滿滿。

謝延波：以後堅決再碰理論物理！還應用物理子比較爽些。

另個才求伯均，張紅衛排軟件編程方面子。

同樣給求伯均指導，給些專業書籍讓學習。

張紅衛還将自己apple給求伯均用，讓電腦練。

這讓求伯均進步飛。

沒用太久，求伯均就以用蘋果自帶編譯器編寫些程序。

張紅衛讓負責編寫刻機需用到單片機程序。

刻機鏡片磨制被張紅衛交給物理系學方面專焦繼祖。

物理系此曾經被遷過京，這剛剛回遷沒久。

焦繼祖得到這個任務之後也非常視。

也渴望能夠這個國級課題研究發揮些作用。

尤其張紅衛告訴，這組鏡片對正研究刻機非常，而且，鏡片求也分之後，就更加激起焦繼祖鬥志。

焦繼祖屬于種典型傳統老科學，嚴謹、認真、負責，而且非常敬業。

經過個努力，焦繼祖帶領學以繼夜埋頭苦幹，終于研制完全格刻機學鏡頭。

張紅衛測試驗收之後，握著焦繼祖說：焦老師，太謝！

鏡頭解決之後，咱們作就算過最艱難時段！

焦繼祖也很興，問：刻機概麼時候能夠研制來?

張紅衛說：應該差，目源、系統、單片機以及傳器、單片機系統都已經到位。

預計設備其部分也差完。

預計還再兩個，差就以開始組裝。

刻機研制緊鑼密鼓進同時，芯片産業自動化其研究項目也同步進。

例如，制備純度矽方法，張紅衛求，采用化學藝氯氫矽還原法。

這種制備方法如幾個優點：

首先以規模業化産。

其次以制備純度晶矽，純度甚至以達到百分之點以。

相比之，物理藝雖然以保證顆粒球形化無定型率，但純度粒徑控制方面定局限性。

而且，物理藝提純矽也太适宜規模産。

純度矽制備完成之後，還使用單晶爐來進單晶矽片制造。

先進單晶爐同樣具技術難點。

主技術難點就溫度控制、雜質控制設備精度等方面。

單晶爐溫度控制單晶矽長過程關鍵因素。

求縱向溫度梯度，這單晶長驅動力。

而徑向溫度梯度需控制得較，以避免熱應力導緻位錯晶體失敗。徑向溫度越，拉晶越難，因此需精确控制熱場溫度分布。

雜質控制也單晶培育個技術難點。

單晶矽長過程，需摻入定量電活性雜質來控制導電類型電阻率。

但，屬非屬雜質也會嚴響PN結性能，所以就需嚴格控制雜質含量分布。

隻這樣才能确保單晶矽質量。

實現精準度藝溫度控制，這就需先進傳器，諸如溫度傳器、壓力傳器以及位置傳器等。

當然，還需先進單片機來實現精準信息處理反應。

張紅衛隻次從次元訓練空間實驗帶回實驗成果機會，現已經使用過。

沒辦法，隻能現實世界來解決這個問題。

解決問題方法就：先把刻機給組裝起來。

刻機之後，其實也完全以先用實驗老方法造矽芯片。然後再用刻機造先進制程傳器芯片單片機芯片。

當然，這就還需解決刻膠等輔料無問題，另就刻蝕機、封裝機也跟來。

但這些難度已經算特别。

尤其刻蝕機，比起刻機來，難度就太。

時匆匆，轉就到旬。

刻膠刻蝕機等設備也初步研制成功。

刻機也組裝來。

張紅衛就把消息打電話告訴機部負責宋功以及陸軍方面負責張成功等領導。

領導們得這個消息之後，都為振奮。

當午，宋功就來到張紅衛實驗。

組裝來刻機被置樓個間裡。

這裡裝嚴格空氣淨化裝置，進入間都穿無塵，戴防靜電次性橡膠套。

宋功進入間，着面這個機器，點兒驚：這麼嗎?

張紅衛笑：因為源系統夠強，還設置複雜系統，機器就得造些。

咱們這台機器兩個件台，以獨或者同時運。

另，咱們準備加比較芯片基材，次性加比較芯片。

比如，咱們這個機器加用晶圓基材以達到毫米，芯片次就以加幾百個，而且加速度很。

正說着呢，張成功也穿着無塵步進來。

紅衛，這穿着真别扭，跟踏馬孝似。

喲！這就研制啥刻機?

張成功睛子就瞪圓。

張紅衛笑着說：領導體諒吧，刻機所處環境求絕對幹淨，能浮塵，然容易增加殘次品率。

張成功圍着刻機轉圈兒說：這台刻機産效率比咱們老式會?

張紅衛說：理論至比咱們老款刻機百倍！

但最，完全标準化自動化運！

這就使得良品率會非常，而且，以産非常先進芯片！

宋功微笑着說：先試産麼個況。

如果真表現分卓越，就以向頭領導彙報作。

張紅衛點頭說：試産準備作基本已經就緒。這台設備到底表現麼樣，騾子馬也該拉來溜溜。

咱們現就進第次試産效果吧。

為準備這次試産，其實已經準備很久。

芯片産周期還比較長。

從芯片設計到晶圓制備，都需時間。

真正準備完畢後，投入産，速度就比較。

張成功說：咱們這些閑雜等産車間裡待着，也比較礙事吧?先等?

張紅衛微笑說：沒關系，并太妨礙。

因為，芯片刻過程全自動化。

并需作員太忙碌。

張成功對宋功說：老宋，咱們就站旁角落觀摩吧，也别太往湊，省得礙礙腳。

宋功點頭說：好！

張紅衛就開始跟幾名作員忙碌起來。

機器啟動，已經制備好刻掩膜闆被放置好。

晶圓基材也被放到封閉作台裡。

随後，就開啟刻進程。

源預熱開啟，随後就開始按照既定程序作。

隻見閃爍，作台嗡嗡鳴響。

宋功張成功兩都，也麼門，們就覺得産過程顯得很科。

們甚至通，難真能像刻刀般芯片基材刻畫電來嗎?

其實也就持續概秒樣子，然後個晶圓就被刻完畢。

這比原本國産刻機功能強太太。

兩個作台同時作，兩個毫米晶圓很時間完。

麼?這就完成刻?宋功很驚。

宋功見識過清華台自動刻機作效率，跟這個簡直沒法比。

張紅衛微笑點頭說：刻程序已經結束。

待會兒給領導們刻況。

時，刻過晶圓就被托舉來。

張紅衛招呼領導們來。

宋功，晶圓表留帶微圖形結構膜。

這些圖形非常精細清晰目然。

張成功問：芯片這就造好?

張紅衛笑着搖頭說：，！還差得遠！

後面還進蝕刻，然後就離子注入，這為改變材料電導性，芯片形成同導電類型區域，如P型N型區域……

張紅衛把芯片制造步驟逐個兒講講。

張成功說：現就以開始其加步驟啊?

張紅衛笑着搖頭：，！後面還進處理，您時間，以現場繼續見證到芯片最後産序，過，時間能會比較長，需好幾産周期。

張成功搖搖頭說：還算吧，事還比較。

今就過來麼個況。

紅衛呀，這等于刻已經成功，對嗎?

張紅衛點點頭，對方門漢，隻刻機刻過之後晶圓，估計沒麼概，也麼效果。

芯片效果還于制造來之後，給其電子産品賦能。

您這晶圓電圖形，非常清晰目然沒半點污迹毀損，這就算刻獲得極成功。

這次刻成功比率已經達到百分之百。

領導以先忙軍國事，等芯片造來之後，讓您成品。

張成功先，宋功留來。

畢竟，張紅衛這個課題項目算負責主管之。

紅衛同志，咱們這個刻機刻精度制程概?能達到腳盆芯片制程準嗎?

宋功問。

腳盆目芯片制程已經以達到微米，接突破到納米制程。

而正芯片突破到微米級别，才推動消費電子産品速發展。

像腳盆随聽、電子表、電視機、電冰箱、洗機風靡全球，都跟芯片發展平全球領先關。

猶撒後來閹割腳盆芯片産業，才讓腳盆電子産業現幅度萎靡滑。

以計算機為例，其實腳盆代甚至到代，微型計算機産業都發展得相當錯，甚至東芝就推第台筆記本電腦。

猶撒通狂暴打擊之後，腳盆微型計算機産業基本就被幹掉。

張紅衛笑：宋部，咱們這個刻機源激波長範圍納米到納米之間啊！

咱們剛才刻來芯片制程預計已經突破到納米，麼着也得個百納米吧。比腳盆個平點半點，而個巨超越。

宋功很驚：麼玩?制程精度達到兩百納米?比頭發絲還細數千倍！

張紅衛點點頭說：對！

所以，咱們今刻這個芯片，指甲蓋塊，面将會數以億計微晶體管。

宋功聽得瞪睛，很太相信：數以億計?

點兒誇張吧?

張紅衛笑着說：誇張，等造好之後，如果放顯微鏡觀察，您就能來，咱們這個芯片制造結構麼誇張。

希望能夠芯片領域領先全球！這樣咱們才能速發展咱們電子消費品産業。

宋功顯然還處于疑惑狀态。

搖搖頭說：這個，還真該麼跟領導彙報。

張紅衛笑着說：宋部以暫時彙報。

咱們這個技術突破，估計也能張旗鼓宣傳。

咱還調發育，麼引注目況，點點強自。

宋功連連點頭，說：說得，說得！

咱們還比較，就算點兒突破，也藏起來，等真正發展起來再宣揚也。

紅衛呀，還點兒信啊，咱們真能芯片這個領域反超腳盆嗎?

張紅衛笑：您信也正常，畢竟，們過實太落後嘛！

但，從曆史發展角度，咱們華數千來直領先于全球。

咱們也就代這兩百時間裡，因為太過封閉太過保守，錯過業革命，這才導緻落後。

隻咱們懈努力，繼續發展，世界秩序被咱們改變！

子過咱們朝貢附庸，将來也定會被咱們徹底碾壓。

宋功笑着點頭說：這個絕對相信！

先進制程芯片搞來之後，定先用軍事方面！

讓咱們導彈打得更準，咱們箭飛得更！

嗯！計算機方面，咱們也發力！

張紅衛含笑點頭說：嗯！隻咱們芯片發展起來，都順帶着就能解決事！

幹式DUV刻機造來之後，張紅衛接來事就把所芯片産業鍊條設備全都進自動化規範化改造。

主就根據設備需求為其設置自動化控制，用傳器單片機來實現精細化規範化自動化運。

這樣才能滿芯片産各個環節精細制程控制。

畢竟，芯片産個環節序産業。

每個序環節都會響到芯片品質。

當然研制自動化設備同時，張紅衛也把刻機試産過程産晶圓給加成最終芯片。

這款芯片單片機。

芯片封裝完畢之後，張紅衛并沒給宋功打電話告。

因為，這玩隻單純觀，實來先進之處。

張紅衛就決定把自己系統任務給先完成。

研制款型軸無機。

造款以用作偵察軸無機，就必須得把照相錄像設備給搞來。

張紅衛，現既然已經條件産納米芯片，就幹脆把數碼速攝像機給搞來吧。

數碼攝像機核部件就COMS傳器，這玩造來，再把鏡頭給搞定，差台數碼攝像機就造來。

之所以用COMS傳器，因為反應速度，傳輸速度也，以直接把拍來視頻用電信号傳回面。

因此，分适用于偵察攝像機。

張紅衛親自設計款接世紀代準COMS傳器。

同時，将設計鏡頭任務交給謝延波。

攝像機其機體部分則也分給實驗其。

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