,切?為麼切!
複旦半導體實驗為迎接設備進過徹底騰挪搬遷,原先套矽晶體管産設備(矽爐蒸汽滲透)全部轉移到郊區,裡剛建起來個複旦分園,或者說複旦學-電集團聯控股辦廠。
現李強完全認識半導體實驗裡各種機器設備。
“原先矽晶體管産藝,叫‘台面藝’,而産藝,以叫‘平面藝’。”黃昆向李強介紹自己技術成果,“就兩,号,第批平面藝矽晶體管已經線,測試結果良好。”
李強:“說這個平面藝,完全由研發來嗎?”
黃昆:“,完全。……确實從美國邊公開論文,還幾個們點跟進公司披些商業信息裡到蛛絲馬迹,其些信息确實給很啟發。然也會這麼目性從國引進這些設備。因為貝爾實驗、德州儀器、肖克利半導體公司,們都訂購這些設備。”
啟發黃昆主貝爾實驗。,貝爾實驗卡爾弗洛希林肯德裡克就發表篇論文《矽擴散表面保護選擇性屏蔽》,描述種能成功對矽半導體進加方式。
這兩發表成果但貝爾實驗繼續發展,從貝爾實驗槽創辦公司威廉肖克利也毫猶豫繼續跟進這項技術。,貝爾實驗第次半導體晶體管技術分享交流會議公布“瑪貝爾譜”,這弗洛希德裡克理論成果基礎,向程應用邁非常步。
“瑪貝爾譜”之後,貝爾實驗就開始訂購機器用來驗證平面藝否。而貝爾實驗單訂購,黃昆也馬單訂購。
隻過黃昆現貝爾實驗進展如何:此學術論文以及晶體管交流會議,都公開、半公開報。貝爾實驗進入程研制代矽晶體管,這就暫時對公布,至也等到貝爾實驗鼓搗來并且把專利給申請,才會被界。
過這倒關系,黃昆能順着弗洛希德裡克理論成果方向往,這就很好。
“這麼?塊……袁頭?”黃昆遞過來塊“銀元”。李強把“銀元”捏,比真實袁頭直徑略點,也銀,過很,捏起來能也就兩毫米樣子。
黃昆:“哈哈,這其實片單晶矽,銀。以台面藝,塊矽闆面加,現藝改進之後,圓片單晶矽加晶體管更方便。”
黃昆挨個介紹實驗裡設備,其實也就介紹晶體管制造序。
“矽爐更,真空矽爐熔鑄單晶矽時候,産就矽闆,而拉來根單晶矽柱。這根柱子用部分直徑毫米。然後們把這毫米粗矽柱切成片。”
“這片您裡這片,您裡這片表面經過處理,又覆層氧化矽膜。”
“已經單質單晶矽,為麼又讓表面被氧化呢?這就與序關。”
“序,這片單晶矽表面塗層由樹脂、增劑溶劑組成抗蝕膠。塗抗蝕膠之後,軟烤。”
“見沒?這盞功率汞燈。們塗抗蝕膠矽片面放置個半透圖案底片,汞燈透過圖案底片照過,單晶矽片面抗蝕膠部分被照老化,部分沒。照過之後們把矽片拿洗洗,老化抗蝕膠洗掉,但沒老化抗蝕膠就洗掉。”
“洗掉抗蝕膠部位,就面氧化矽層。然後們再用強酸沖洗掉氧化矽,面單質矽。然後利用離子溶液,把層雜質擴散到矽。”
“這樣,片單晶矽,嗯,塊袁頭,面們就能次刻幾百個甚至千個矽晶體管來。加速度很像台面藝屬蒸汽滲透序動動幾個時;加環境宜,沒超溫,就化學品兒,空氣淨化機。但總來說,産成本隻台面藝幾分之。餘序就簡單,切割、封裝、測試、廠。”
……
黃昆興緻勃勃介紹矽晶體管制造藝,李強旁邊越聽越愣,最後腳步都,跟着黃昆實驗裡踱步。
黃昆:“李局長?……李組長?……李老?”
李強表發呆,其實腦以x速度飛速轉動,就兩分鐘之,過無數次《布斯提案》,又李強腦子裡過遍。
這回,《布斯提案》裡幾個名字,終于被李強篩選來。
“黃昆,”李強舉起“袁頭”:“把個這個單晶矽,叫‘片’單晶矽?”
黃昆:“對,對呀,麼片。”
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