計劃歸計劃，該拆設備還得拆。

過康馳也用把拆得非常零散，隻需把幾個模塊給分開就。

反正這玩拆殼，誰也認麼東。

由于作量比較，康馳隻能東陽又留周，

同時拆解休息時候，還抽空常所EUV設計圖，把圖紙都給透得差。

刻機EUV源，兩個相對成熟靠方案，即DPPLPP方案。

這兩個方案，其實原理都差，就利用錫轉換成等離子體過程，以釋放極，

區别隻DPP用電擊錫來激活，LPP用激次打擊錫液激活。

按照華國貫風格，自然啥都試試，

所以目這兩個方案，分别由常所、魔都所負責研發。

其魔都所LPP方案，進展其實最，據說功率已經達到W，轉換效率為。%，基本能夠進入實用化。

但LPP方案所需脈沖功率氧化碳激器，依然沒攻克，目隻M國島國能夠産，EUV刻機樣錢也買到。

所以雖然阿斯麥EUV刻機，用就這個方案，算給華國指方向，但因為專利壁壘禁售，挑戰反而更。

反觀DPP方案，則以避開專利壁壘，同時景也更，因為直接将電能轉化為等離子體能，源結構簡單，随着技術成熟相對容易提功率，

如果能把同步輻射源加速器型化，麼DPP方案也将會更應用景。

這也康馳選擇常所DPP方案主原因。

透常所圖紙，并分析們目遇到困難技術缺陷後，康馳又幾時間，對這套方案進改良設計，然後把盤交給陳，讓排送到常。

當何永收到盤，得康馳已經對方案完成改良設計後，忍掏機，确認期。

這才過，确定把圖紙?

負責送圖紙賴慶搖搖頭：抱歉，隻個送圖紙，技術層面東也，過覺得康博士應該至于開這種級玩笑。

嗎?何永笑，麼覺得老愛開玩笑。

接過盤後，何永也忍刻回到辦公，好奇打開裡面圖紙，康馳所謂改良方案真假。

打開第張體結構圖，何永就，這們原本設計很區别。

所以，真對設計圖進改良?

而從消化圖紙，到完成改良設計，僅僅隻用?！

先說改良方案到底，這個效率，就讓何永到些難以置信。

暫驚訝過後，何永便把設計圖放，仔細分析起裡面改變，眉頭也逐漸開始皺起來。

磁場約束?

着包裹着兩個電極麻狀線條，何永總覺似乎裡過類似設計結構……

沒麼名堂何永，試着根據康馳體結構圖注解，到這個麻狀詳細分解圖。

然後頓時就瞪睛。

終于自己，過類似結構。

這……

仿器！

這結構，太像控核聚變技術線——仿器磁場環！

開麼玩笑?！

們這造EUV源，搞核聚變！

就算把仿器設計來，憑們就能造來嗎?！

何永到這張圖第，隻覺得這太離譜，

但兩之後，很就發現，雖然像仿器，但實際卻仿器還比較區别。

仿器設計，個完美閉環磁場，而這個顯然個開環，結構也相對簡單很。

何永又這張圖技術說，很就理解康馳這套改良方案，具體原理麼。

DPP-EUV方案，最問題，就電離錫時候，會産量錫碎屑，

這些碎屑溫度極，很容易腐蝕、污染電極設備，

尤其收集線反射鏡，

旦受損，收集線效率就會直線。

所以康馳就用個類似仿器磁約束原理，制造股無形‘風’，把這些電離過程産錫碎屑，沿着設計好磁場線吹。

法很好，但這能實現嗎?

先說這個強磁場能能造來，就算造來，這麼強磁場，會會對設備其部件，造成幹擾響?

而且除這個磁場清理碎屑改良點，何永接來，還發現康馳另個更瘋狂改良。

錫本來應該塗抹電極，

但康馳直接電極間加個噴嘴，把錫加熱到度，變成氣體噴！

原理其實燃油發動機點像，噴油嘴噴油，然後塞點，

區别隻個燃燒膨脹作功，個電離發。

這麼個好處，就能夠解決頻放電源穩定性，同時很容易增源功率。

但這切提，都個像仿器磁場設計，到底。

如果這套磁場設計話，錫氣噴，個裝置就毀。

到這裡，何永即召開場技術研讨會，直接會議公布康馳改良方案。

當到康馳方案，并聽完何永講解後，個會議頓時就陷入很長段時間沉默。

所都被這個膽而瘋狂方案給震。

而何永也給們充時間，來消化這些信息。

過分鐘，才終于開問：這……能嗎?

也。何永衆，

從理論來說，這确實個方向，但具體能能實現，得先對這個設計理論進模拟驗證……老廖，磁場這塊比較擅長，所以磁場分析就交給伱。

被點到名廖遠點點頭：給兩時間。

何永随即又把目，放另位歲老者：老許，過來先仔細研究設計圖，把握造能造來。

随後何永便把位置讓來。

老許對着電腦，研究概半個時圖紙，最後才點頭：應該沒太問題。

這雖然着像仿器，但實際求沒這麼苛刻，仿器需控制核聚變，但對磁力求特别，還得能絲毫偏差，但這個隻需概控制磁場向，設備精度求些，體積也算。

何永聽完頓時就放，

接來，就等設計理論模拟驗證結果。