EUV刻機核技術，主由系統構成。

首先EUV源系統，這個系統負責制造刻過程，需用到特殊線。

從第代UV刻機，到第代EUV刻機，線波長也從nm，縮到。nm，目所刻機，就通過線同，來區分技術等級。

這其主涉及到原理，就學線波長清晰度關系。

最簡單理，就進入黃鎢絲燈間，部分都會覺視線昏，

怕加幾個燈泡，也始終覺沒LED燈麼亮清晰。

這就因為黃波長，遠于，

線波長，就像浪樣，越波浪，拍打防堤位起伏就越。

而這個位落差，換成學領域，就成響陰邊緣清晰度因素。

因此，達到越制程芯片藝，就需波長越，越無限接絕對直線。

而EUV源技術，據康馳目所能查到資料來，國常所應該也已經接突破邊緣，但具體到步，康馳也清楚。

打算先試着解況，

如果條件允許，價格适話，能會直接向們進采購，

怕技術稍微達标，采購過來自己再進改良優化，也能節省量時間精力。

畢竟台刻機裡面，幾萬零部件，全靠唐自己來話，得搞到猴馬。

而向們采購，既浪費們科研成果，還能利用們産力，

也算共赢。

所以康馳這次，并排斥自己成為組裝、調試改良角。

放着華國這麼完産業鍊用，反倒自己搓每個螺絲，但浪費國這麼好資源基礎，更閉門造車獨表現。

而能用本國産業鍊，來完成台刻機所零件制造，全球且隻個國才能到，

就華國。

換成老M也。

們也沒辦法隻本國，就到刻機全部零部件供應商，得全球國作協同才。

而巨資源協調成本，更會加個研發項目費用時間，

這也華國很産品，能到成本遠于國廠商主原因之。

總之，無論常所沒突破EUV源技術，康馳都以嘗試着借用研發制造能力，來迅速獲得套源系統。

現刻，

步就把，通過個學系統，收集并投到塗刻膠矽片面。

這個學系統，也台刻機，造價成本占比最。

這部分康馳準備對秦學鏡頭産線，進級，然後把給拆，直接獲得刻機鏡片反射鏡制造，所需部分設備零件。

這麼效率無疑會很，

而且級後産線，估計連解析項目都沒，

因為裡面部分技術，康馳解析刻機時候，就已經得到，本擁非常解釋空間。

唯缺點就，需接項目，進定混淆視聽，把這些拆分開組件，神鬼覺摻到個項目裡。

嗯，

就欺負嚴輝們對刻機沒啥研究，

到時候估計也康馳讓們幹麼，們就幹麼，考空間并。

至于刻機最後個關鍵系統，則承載矽片雙件台系統。

作原理很簡單，就刻斷挪動矽片曝部位，但其技術含量其實非常。

因為這個作平台必須、準、狠。

速度，決定刻機效率，

移動太，刻機産量就，

這就求，速移動後，還得迅速且精準，

留位置誤差，還得nm以，

但凡偏差點，個晶圓就直接報廢！

這啥概?

概就輛速駛汽車，突然緊急刹，然後位置誤差還能超過毫米。

過這個難點，今份時候，剛好被铪給搞定，

們研發來真空速超精激幹涉儀，位移分辨率達到驚pm，位移誤差控制pm！

，pm才等于nm！

。nm位移誤差，簡直牛逼到！

康馳簡直懷疑，們自己樣開挂……

講真，華國能還挺，

如果靠系統，康馳自己雖然也定把握以攻克這種技術，但時間就久……

所以康馳直也斷提自己，雖然系統确實好用，但自己學習理解腳步同樣能。

這但為解析技術時候，減輕自己痛苦，免得突然暴斃，更為以後萬現精通點夠，需自研況現時，至于兩抹啥也幹。

總之EUV刻機部分技術難點，其實華國都已經攻克或即将攻克，隻過具體些能夠複刻落量産，還個未數。

為得到答案，康馳特打個電話給呂首長。

當聽到康馳問刻機事，呂首長頓時就打起精神，連忙問：準備搞刻機研發?

嗯，這個法。

搞刻機好啊！嗯……過忙着量産采油蟲嗎?來這麼時間精力研發刻機?

抽空玩玩呗……

……

随後康馳又呂首長沉默，咨詢關于常所EUV源系統，铪雙件台系統研究況。

嗯……們确實都定突破，但具體到麼技術節點，還久能實際落，也說準……以張院士問問，這方面比較清楚。

于康馳挂電話後，又撥通張達遠電話，

結果張達遠聽康馳問題，直接就說電話講清楚，讓過燕京面談。

康馳強烈懷疑，這老頭就把騙過，忽悠搞個啥穩态微聚束源，

但為争取縮刻機研制周期機會，康馳也得從……

反正過後任麼說，康馳就跟幹，

還能把康馳給扣成?

……

經過兩個時飛，康馳就抵達燕京國際機場，

來接機陳同事，彙後，便直奔HEPS項目部。

經過層層檢報備，康馳終于項目部裡面，見到帶着全，穿得像張達遠。

到這個已經老，竟然還能精神抖擻居線，親自參與實驗程建設，康馳也禁到些佩。

張院士，好久見。

剛見面，康馳便主動握握，贊歎：您真寶刀未老啊。

必須。張達遠得拉着康馳，，先帶伱參觀參觀。

面對張達遠熱，康馳自然也好拒絕，

何況本，其實對這裡也挺好奇，于便跟着張達遠，這個正建設能同步輻射源裡面，簡單轉圈。

章差點被，好修改後放來。

估計如果寫太細太貼事實，非常容易被……

穩妥起見，接來技術節點，能會簡單帶過，

然後稍微誇張點，反正牛逼就完事。

希望用較真茬，就當瞎幾把亂吹好。

嗯，

事實，就吹牛逼，真！